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发布日期：2023-03-15来源：东莞智赢
EFEM是半导体设备的前端模块，是连接物料搬运系统和硅片处理系统的桥梁，确保晶圆能在高洁净环境下传输到工艺、检测模块，是半导体设备的重要配件。EFEM模块设备配备大气晶圆搬运机器人，安装在框架中，框架配备有FFU（风扇过滤器单元）和安装在前面的装载端口。智赢提供的晶圆搬运机器人SR8220系列是EFEM模块内的关键部件。
智赢提供的大气晶圆搬运机器人SR8220系列保证晶片的快速、稳定搬运；满足Class1的洁净等级；可以实现不同品类Whole wafer、Frame wafer、Hoopring wafer的搬运。
另外智赢对于EFEM内部结构机器人还可以提供走行轴结构、手臂翻转结构、伯努利输运结构满足多种使用工况的要求。
1、 采用2ARM构造增大了搬运范围
2、 实现晶圆的高速传输和双片同取放
3、 确保了超高的直线精度
4、 ARM和Z轴的各种组合以满足对应各种装置的需求
5、可同时适用于4-12英寸的晶圆搬送
1、拥有专业的软件技术团队，提供高效的技术服务支持，以及培训工作。
2、SR8220系列晶圆机器人作为智赢的标准产品，我们储备库存，缩短交付周期。
3、专业的工程设计团队，可以快速实现多样化的SR8220系列机器人升级改造。
4、技术人员拥有十几年的晶圆机器人应用经验，专业的售前指导工作，为客户提供更优的技术方案。
本文作者·蒋江坤
■ 半导体行业高级应用工程师
■ 从事智能装备制造业12年，拥有丰富的直线电机和晶圆机器人行业应用经验，可为客户提供智能控制和运动部件整体解决方案。
凭借雄厚的技术实力、过硬的产品质量、优质的客户服务，公司已成为直驱领域国产品牌中的领先者。未来，公司将继续秉持“让中国智能装备与世界同步，为客户创造更多投资回报”的企业使命，坚持市场需求引领、品牌服务支撑、创新技术驱动，不断开拓进取，为我国智能制造设备行业添砖加瓦，助力中国高端装备的深度国产化和智能化转型升级！
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